Mi az a plazmajelző szalag?

Plazma indikátor szalag egy intelligens érzékelőanyag, amelyet kifejezetten vákuumrendszerekhez és plazmafolyamatokhoz használnak. Valós idejű visszajelzést ad a legfontosabb paraméterekről speciális fizikai és kémiai változásokon keresztül. Intuitív módon képes megjeleníteni az emberi szem számára láthatatlan plazmaállapotokat és mikroszivárgásokat.

1. Óvintézkedések a plazma indikátorszalag használatával kapcsolatban

(1). Felületi előkezelés

Ragasztás előtt a vizsgálandó felületet acetonnal vagy izopropil-alkohollal meg kell tisztítani. Törlés után hagyja állni 2 percig, hogy az oldószer teljesen elpárologjon. A kezelés utáni felületi energiának ≥38dyn/cm-nek kell lennie, ami dyne toll teszttel igazolható. Ne érintse meg közvetlenül az ujjával a ragasztófelületet, hogy elkerülje az olajszennyeződést, ami az érzékenység csökkenését okozhatja.

(2). Beillesztési művelet

Miután lehúzta az indikátorszalagot az antisztatikus leválasztó fóliáról, lassan görgesse végig az egyik végén, és gyakoroljon egyenletes, 0,5-1 kg/cm² nyomást. Szilikon kaparóval nyomja meg a szélét a buborékok eltávolítása érdekében. Kisméretű, ≤1 mm átmérőjű buborékok megengedettek. A ragasztás után hagyja állni 5 percig, hogy a ragasztóréteg teljesen kiegyenlítődjön. Az ismételt hámozás és ragasztás szigorúan tilos. Minden újraragasztás több mint 50%-kal csökkenti a ragasztóanyagot.

2. A plazmajelző szalag meghibásodási kritériumai

(1) Fizikai meghibásodási kritériumok

Az aljzat károsodása: látható repedések (hossz > 2mm) vagy rétegvesztés lép fel, és az aljzat visszafordíthatatlan vetemedést szenved (hajlítási sugár > 15°).
Ragasztási hiba: a ragasztófelület maradék területe > 5% (kihatással van az újratapadásra), a leválási szilárdság a kezdeti érték 30%-a alá esik (szakítószilárdságmérővel kell tesztelni).
Szennyezés és korrózió: eltávolíthatatlan szemcsés szennyeződések tapadnak a felületre (részecskeméret > 50 μm és sűrűség > 3/cm²), és az aljzatot a plazma erodálja és lyukakat képez (átmérő > 1 mm).

(2) Kémiai meghibásodási kritériumok

Rendellenes színváltozási reakció: standard körülmények között (például 50 W argonplazma) a színváltozási idő ±30%-kal meghaladja a névleges értéket, és a színváltozási terület nem egyenletes diffúziót mutat (színfolt átmérő különbség > 20%).
Bevonat meghibásodása: érzékeny bevonat hámlási terület > 10% (mikroszkópos megfigyelés), ΔE érték > 40% csökken ismételt használat után (spektrofotométeres detektálás). Kémiai stabilitási károsodás: Az aljzat ridegsége korrozív gázoknak (például Cl₂, F2) és halmozottan 0,2 ppm-nél nagyobb ózonkoncentrációnak való kitettség után következik be több mint 24 órán keresztül.

A plazmajelző szalagot ki kell cserélni, ha a következő feltételek fordulnak elő:
2 mm-nél hosszabb repedések vagy rétegvesztés alakul ki az aljzaton; Az 5%-nál nagyobb maradék ragasztófelület befolyásolja az újraragasztást; A színváltozás válaszideje több mint 50%-kal nő a kezdeti értékhez képest; A felhalmozott expozíciós idő meghaladja a gyártó által megadott élettartamot.

3. A plazmajelző szalag tárolási feltételei

(1) Környezetvédelmi követelmények

Hőmérséklet: 15-25 ℃ (ingadozás <±3 ℃/h)
Fényálló: UV intenzitás <10 μW/cm²
Porálló: 1000 vagy annál alacsonyabb tisztasági osztály

(2) Csomagolási előírások

Eredeti alumínium fóliatasak lezárva (vízgőzáteresztési sebesség <0,1g/m²/nap)
A talajtól távol, antisztatikus szekrényben tárolva (felületi ellenállás 10³-10⁶Ω)